东方晶源微电子科技（北京）有限公司成立于2014年，总部位于北京经济技术开发区，下设子公司深圳晶源信息技术有限公司。 公司成立以来，坚持创新投入，授权专利40项，软件著作权10项，注册商标10项，申报84余项国内外发明专利，“获得国家高新技术企业”“中关村高新技术企业”“北京市专利试点企业”“博士后工作站”等荣誉。 公司及子公司承担了国家科技重大专项（02专项）-“14nm以下电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化项目”及“国产浸没光刻机计算光刻系统的研制”等课题，技术实力得到充分认可和验证。 公司主要产品为纳米级电子束检测和量测装备（EBI&CD-SEM）以及制程优化系列软件工具。公司产品均为自主研发且处于国际领先水平，可以有效解决国内集成电路产业多个难点问题。 作为高新技术企业，研发人员占比超过70%以， 18%拥有博士学位，62%拥有硕士学位，国家人才计划6人，北京市海聚和亦麒麟人才各4人；核心成员拥有美国硅谷、日本和欧洲等世界一流半导体科技公司丰富开发经验背景。