上海微电子装备(集团)股份有限公司成立于2002年03月07日，注册地位于中国（上海）自由贸易试验区张东路1525号，法定代表人为张素心。经营范围包括半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务，经营本企业自产产品的出口业务和本企业所需的机械设备、零配件、原辅材料的进口业务（但国家限定公司经营或禁止进出口的商品及技术除外）。 【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】上海微电子装备(集团)股份有限公司对外投资5家公司。