科学院仪器研制

中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司创建于1958年，前身为中国科学院直属科研事业单位，于2001年4月整体转制为科技型的有限公司。公司以高真空、超高真空、超洁净真空技术为基础，主要研制生产大型表面分析仪器、薄膜材料制备设备、纳米材料制备设备、半导体材料制备设备、空间环境模拟装置、真空冶金设备、真空获得以及高档真空器件。